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分光光度法檢測半導(dǎo)體工業(yè)用水中痕量硅

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2011-09-28  來源:中國化工儀器網(wǎng)
核心提示: 分光光度法檢測半導(dǎo)體工業(yè)用水中痕量硅

【摘要】硅酸鹽在酸性介質(zhì)中與鉬酸銨反應(yīng)生成硅鉬黃,硅鉬黃還原為硅鉬藍(lán)后,可被HLB小柱定量萃取。在此基礎(chǔ)上,建立了流動注射?固相萃取?分光光度(FI?SPE?Vis)測定水中痕量硅酸鹽的新方法。反應(yīng)生成的硅鉬藍(lán)經(jīng)HLB小柱萃取后,用水清洗去除雜質(zhì),NaOH溶液洗脫,分光光度法檢測。實(shí)驗(yàn)對各參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化,優(yōu)化后的參數(shù)為:洗脫劑濃度0.01mol/L;試樣上柱流速28.0mL/min;洗脫流速3.5mL/min;反應(yīng)溫度45℃;硅鉬黃與硅鉬藍(lán)反應(yīng)時間均為5min;鉬酸銨混合溶液、草酸溶液、抗壞血酸溶液的用量分別為3.5,3.5和1.75mL。本方法具有良好的重現(xiàn)性和靈敏度,測定含硅9.33μg/L的硅酸鹽水樣7次,RSD值為1.8%;選取不同的試樣富集時間,可將定量分析的線性范圍擴(kuò)展為0.47~117μg/L;檢出限0.18μg/L;回收率為96.8%~105%。可滿足特殊工業(yè)用水中痕量硅檢測的需要。
1、引言
工業(yè)用水中的硅含量若超出允許范圍,將對產(chǎn)品產(chǎn)生不良影響,甚至造成嚴(yán)重事故。例如,可溶性硅濃度是火力發(fā)電廠、試劑廠、半導(dǎo)體廠等用水質(zhì)量的重要控制指標(biāo)之一。半導(dǎo)體工業(yè)用水的硅濃度限制在1μg/L以下[1]。水中的可溶性硅主要以硅酸形式存在,經(jīng)典的測定方法為硅鉬藍(lán)分光光度法。該法檢出限較高,不能滿足工業(yè)用水中硅的檢測要求。近年來新的檢測方法相繼出現(xiàn),包括改進(jìn)的硅鉬藍(lán)法[2,3]、堿性染料分光法[1,4]、動力學(xué)光度法[5,6]、魯米諾化學(xué)發(fā)光法[7,8]、熒光法[9,10]、電化學(xué)法[11]以及原子光譜法[12,13]等。這些方法,或靈敏度達(dá)不到要求,或干擾嚴(yán)重,實(shí)驗(yàn)操作要求高,均未得到廣泛應(yīng)用。
本研究以流動注射分析(FI)技術(shù)控制分析過程,將硅鉬藍(lán)富集在HLBTM固相萃取(SPE)小柱上,以少量NaOH溶液洗脫,由可見分光光度計在線檢測,由此建立了流動注射?固相萃取?分光光度(FI?SPE?Vis)測定水中痕量硅酸鹽的新方法。
2、實(shí)驗(yàn)部分
2.1儀器和試劑
732PC型可見分光光度計(上海光譜儀器有限公司);FIA?3110型流動注射分析處理儀(北京吉天儀器有限公司);HH?1型數(shù)顯恒溫水浴鍋(金壇市順華儀器有限公司);OasisHLB小柱(美國Waters公司)。實(shí)驗(yàn)器皿用HCl(1∶4,V/V)浸泡10min后,用純水清洗。蠕動泵管為硅橡膠管,流路管道為PTFE管,實(shí)驗(yàn)器皿均為非玻璃材質(zhì)器皿。試劑均由Mili?Q純水機(jī)(美國Millipore公司)制備的純水(18.2MΩ·cm)配制。硅標(biāo)準(zhǔn)溶液(100mg/L(以SiO2計),國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心);1.5mol/LH2SO4(優(yōu)級純,廣東汕頭化學(xué)試劑廠);鉬酸銨(分析純,國藥集團(tuán))混合溶液:稱取2.1g(NH4)6M7O24·7H2O溶于50mL水中,將此溶液緩慢地加入到50mLH2SO4中;100g/L草酸(分析純,廣東汕頭市西隴化工廠)溶液;28g/L抗壞血酸(分析純,國藥集團(tuán))溶液。0.6mol/LNaOH(優(yōu)級純,上海山海工學(xué)團(tuán)實(shí)驗(yàn)二廠)貯備液;0.01mol/LNaOH使用液;無水乙醇(分析純,國藥集團(tuán))。
1.鉬酸銨混合溶液(Ammoniummolybdate);2.草酸溶液(Oxalicacid);3.抗壞血酸溶液(Ascorbicacid);4,6,8.H2O;5.無水乙醇(Ethnaol);7.NaOH;V1.八位閥(8?Positionvalve);V2.八通閥(8?Portrotoryvalve);P1,P2.蠕動泵(Pump);Rc.反應(yīng)瓶(Reactioncontainer);D.檢測器(Detector);W.廢液(Waste)。實(shí)線閥位(Valvepositioninrealline):Inject;虛線閥位(Valvepositionindashedline):Fill。2.2實(shí)驗(yàn)方法與流動注射分析流路圖
流動注射分析的流路見圖1。流動注射分析程序列于表1。量取100mL試樣于聚乙烯瓶中,運(yùn)行步驟:(1)P1泵將3.5mL鉬酸銨混合溶液送入反應(yīng)瓶Rc中;(2)瓶中的硅酸與鉬酸銨反應(yīng)生成硅鉬黃;(3)反應(yīng)5min后,3.5mL草酸溶液與1.75mL抗壞血酸溶液被P1泵先后泵入反應(yīng)瓶中;(4)所有試劑加畢,試液在45℃水浴中反應(yīng)5min;(5)乙醇與水依次被P1泵過HLB小柱,清洗小柱并預(yù)沖洗管道;(6)啟動P2,試液以28.0mL/min的流速通過HLB小柱,其中的硅鉬藍(lán)被萃取;(7)水清洗小柱;(8)吸附在HLB小柱上的硅鉬藍(lán)被0.01mol/LNaOH溶液以3.5mL/min的流速洗脫,流經(jīng)2mm(i.d.)×2cm的流通池,由分光光度計于810nm處測定吸光值。該信號被計算機(jī)連續(xù)采集,每0.5s記錄1個數(shù)據(jù),以洗脫曲線的形式輸出。洗脫曲線峰高處的吸光值,即試樣中活性硅定量的依據(jù)。為防止小柱長期浸泡于堿性洗脫劑,洗脫完畢需用水反向清洗小柱。表1流動注射分析程序及閥位
3、結(jié)果與討論
3.1檢測波長的選擇
取適量水樣加試劑反應(yīng)后,過HLB柱,萃取硅鉬藍(lán)并用NaOH溶液洗脫,采用732PC型分光光度計,以洗脫劑為參比,繪制硅鉬藍(lán)洗脫液的吸收光譜(見圖2)。實(shí)驗(yàn)選擇810nm為檢測波長。
3.2洗脫劑的選擇
吸附在小柱上的硅鉬藍(lán)可被NaOH溶液洗脫。恒定其它參數(shù)(如2.3所述),考察了不同濃度NaOH的洗脫效果。結(jié)果表明:在0.01~0.05mol/L范圍內(nèi),NaOH濃度大小對洗脫液的信號基本沒影響。洗脫劑與殘留在柱上的試樣之間的界面折射率差異對檢測信號產(chǎn)生干擾。考察了不同NaOH濃度下的Schlieren效應(yīng)。本實(shí)驗(yàn)選用清水清洗富集硅鉬藍(lán)后的小柱,再由NaOH溶液洗脫;在所選擇的NaOH濃度范圍內(nèi),Schlieren效應(yīng)較小,對實(shí)驗(yàn)測定無影響。實(shí)驗(yàn)選擇0.01mol/LNaOH作洗脫劑。
3.3試樣過柱流速及洗脫流速的選擇
固相萃取時,流速快則溶液中的目標(biāo)物被吸附不夠完全,且柱壓較大;流速慢則耗時多。在12~28mL/min之間變化流速,考察了試樣上柱流速對萃取效果的影響。在所選擇的流速范圍內(nèi),萃取效果幾乎不受影響。綜合考慮萃取效果、分析時間及柱壓等因素,試樣過柱流速選擇28mL/min。
在3.5~9.5mL/min之間變化流速,考察了洗脫流速對吸光信號的影響。吸光值隨洗脫流速增大略有減少。綜合洗脫效果、重現(xiàn)性等因素,選擇洗脫流速為3.5mL/min。
3.4反應(yīng)溫度和時間的選擇
在25~65℃之間考察了反應(yīng)溫度對試樣吸光值的影響(見圖3)。選擇45℃作為實(shí)驗(yàn)反應(yīng)溫度。
水中硅酸鹽與鉬酸銨發(fā)生反應(yīng)生成硅鉬黃,硅鉬黃再被還原為硅鉬藍(lán)。這兩個反應(yīng)的時間對信號有一定影響。考察反應(yīng)所需時間與吸光值的關(guān)系,結(jié)果分別如圖4a和圖4b所示。2個反應(yīng)的時間均選擇5min。
3.5鉬酸銨混合溶液用量和抗壞血酸溶液用量的選擇
控制適當(dāng)?shù)娜芤簆H值,是保證比色分析獲得良好結(jié)果的重要條件之一[14]。參照文獻(xiàn)[15],本研究固定[H ]與[MoO2-4]比例為0.15%~0.20%,研究了鉬酸銨混合溶液用量對硅鉬藍(lán)形成的影響。鉬酸銨混合溶液加入量為2.0mL,9.33μg/LSi的吸光度約為0.32;鉬酸銨混合溶液加入量>3.5mL后,吸光度達(dá)到0.48,趨于飽和。實(shí)驗(yàn)選擇在100mL試樣中加入3.5mL鉬酸銨混合溶液。
對抗壞血酸溶液的用量進(jìn)行了優(yōu)化。抗壞血酸溶液的用量>1.75mL時,吸光值幾乎不變,過量的抗壞血酸無影響。實(shí)驗(yàn)選擇在100mL試樣中加入1.75mL28g/L抗壞血酸溶液。
 
編輯:songjiajie2010

 
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