光路的檢修與維護

　　光路調整的先決條件是：確保直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點，必須單獨歸至主機接點牢固接地。

　　光學鍍膜設備的清洗

　　設備使用一個星期后(三班)，因鍍料除鍍在工件表面 外，亦因無定向性而工作室 內的襯板上鍍料，并越鍍越厚，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設備抽氣越來越慢。此時，應對工作室及襯板進行清洗，如不必要拆落來的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里，氫氟酸和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。

　　注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。

　　因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。